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手動(dòng)紫外光刻機(jī)

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設(shè)備名稱(chēng):手動(dòng)紫外光刻機(jī)   品牌型號(hào) ABM

設(shè)備用途
光刻機(jī)發(fā)出的紫外光通過(guò)具有特定圖形結(jié)構(gòu)的掩膜版對(duì)樣片曝光,然后通過(guò)顯影將掩膜版上的圖形結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到樣片表面的光刻膠上。

主要技術(shù)指標(biāo):
曝光波長(zhǎng):350nm---450nm 
可加工尺寸:2inch 3inch晶圓和≥1.5cm2碎片
極限分辨率:3um
正面套刻精度:≤1um
線(xiàn)寬均一性:≤3%
曝光模式:接觸式曝光、接近式曝光

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